龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：深圳智现未来工业软件有限公司
摘要：本发明涉及半导体缺陷根因分析方法及装置，方法包括：获取半导体生产过程中的基础特征数据和对应的缺陷数据；所述基础特征数据至少包括以下之一：设备状态数据、配方数据、实时数据；基于所述基础特征进行特征融合，得到融合特征；所述融合特征包括交互特征，所述交互特征为至少两种基础特征之间的组合所确定的特征；以所述基础特征和所述融合特征作为样本特征，以所述缺陷数据作为标签，训练得到缺陷分类模型；使用SHAP分析工具对所述缺陷分类模型进行特征重要性分析，得到重要性排名靠前的若干目标特征，作为第一总体缺陷根因。
主权项：1.一种半导体缺陷根因分析方法，包括：获取半导体生产过程中的基础特征数据和对应的缺陷数据；所述基础特征数据至少包括以下之一：设备状态数据、配方数据、实时数据；基于所述基础特征进行特征融合，得到融合特征；所述融合特征包括交互特征，所述交互特征为至少两种基础特征之间的组合所确定的特征；以所述基础特征和所述融合特征作为样本特征，以所述缺陷数据作为标签，训练得到缺陷分类模型；使用SHAP分析工具对所述缺陷分类模型进行特征重要性分析，得到重要性排名靠前的若干目标特征，作为第一总体缺陷根因。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳智现未来工业软件有限公司 半导体缺陷根因分析方法及装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号