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申请/专利权人：无锡市华辰芯光半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种电子束蒸发装置及其使用方法，涉及电子束镀膜领域。电子束蒸发装置包括坩埚架、机械传动机构、检测组件以及控制器。机械传动机构与坩埚架传动相接，检测组件包含配置于坩埚件下端的探测坩埚温度、位置的传感器，以及配置于腔体侧壁的探测电子束位置的探测头。控制器用于根据检测组件获取的参数，控制机械传动机构传动坩埚架和坩埚件移动。本发明通过检测组件获取的参数控制机械传动机构传动坩埚架和坩埚件移动，在不改变电子束的运动轨迹的方式上，达到相对控制电子束落点的目的，其易于实施，可根据实时检测的数据，动态调整坩埚件的移动，有效的控制电子束落点，有利于加强对靶材的加热均匀，提高实际产品的镀膜质量。
主权项：1.一种电子束蒸发装置，其特征在于，包括：坩埚架1，其内适形设置有坩埚件2，所述坩埚件2内设有适于放置靶材的装载腔；机械传动机构3，与所述坩埚架1传动相接；检测组件，所述检测组件包括第一检测器和或第二检测器11，所述第一检测器适于贴合设置在所述坩埚件2下端，所述第一检测器至少配置有适于检测获取所述坩埚件2下端面温度的第一检测区域和第二检测区域，所述第一检测区域设置为环形结构，所述第二检测区域间隔设置在所述第一检测区域内侧；所述第二检测器11设置在所述坩埚件2的斜上方，所述第二检测器11至少配置一个适于探测电子束光斑位置、亮度信息的探测头；控制器5，所述控制器5和所述机械传动机构3通信连接，所述控制器5和所述检测组件通信连接，所述控制器5用于根据所述第一检测器获取的温度参数，和或所述第二检测器11获取的电子束光斑位置、亮度信息，控制所述机械传动机构3传动所述坩埚架1和所述坩埚件2移动。
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