龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：苏州佑伦真空设备科技有限公司
摘要：本发明公开了一种近距离双电子束蒸发源结构，包括：机壳、蒸发坩埚、磁场导流组件、承托导磁组件。机壳内固定装配有一对蒸发坩埚。磁场导流组件包括多组第一导磁板和第二导磁板，多组第一导磁板与第二导磁板交错分布，多组第一导磁板与第二导磁板之间均布设有多个均匀分布的绝缘垫圈，多组第一导磁板和第二导磁板的外侧均开凿有多个固定装配孔，多个固定装配孔内均装配有装配螺栓件，承托导磁组件用于在蒸发坩埚的下方形成均匀磁场。本发明通过对两个蒸发源之间设置磁场导流组件，可对两个蒸发源的磁场分布进行调整，降低了两个蒸发源之间的磁场干扰，从而缩短了两个蒸发源的间距，减小了真空蒸镀机的体积。
主权项：1.一种近距离双电子束蒸发源结构，其特征在于，包括：机壳，所述机壳内固定装配有一对蒸发坩埚；磁场导流组件，固定装配在一对所述蒸发坩埚之间，所述磁场导流组件包括多组第一导磁板和第二导磁板，多组所述第一导磁板与第二导磁板交错分布，多组所述第一导磁板与第二导磁板之间均布设有多个均匀分布的绝缘垫圈，多组所述第一导磁板和第二导磁板的外侧均开凿有多个固定装配孔，多个所述固定装配孔内均装配有装配螺栓件，且多个所述绝缘垫圈均套装在装配螺栓件的外侧；一对承托导磁组件，固定装配在所述蒸发坩埚的下方，所述承托导磁组件用于在蒸发坩埚的下方形成均匀磁场。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州佑伦真空设备科技有限公司 一种近距离双电子束蒸发源结构
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号