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申请/专利权人：华为技术有限公司
摘要：本申请提供一种电子束矫正器、其制备方法及扫描电子显微镜，电子束矫正器包括：半导体衬底，位于半导体衬底之上的布线层，以及与布线层电连接的至少一个矫正电极。电子束矫正器设有贯穿半导体衬底和布线层的至少一个第一通孔，每一个第一通孔的内壁设有至少一个矫正电极，每一个矫正电极的至少部分位于布线层中，矫正电极为一体结构。本申请中，通过将矫正电极设置为一体结构，在制备工艺过程中，更容易形成对称性较好的矫正电极，使各矫正电极形成的电场的均匀性较好，而且，不需要套刻工艺制备矫正电极，降低了制备矫正电极的工艺难度。并且，矫正电极的制备工艺，与布线层中各膜层的制备工艺分开，布线层与矫正电极的制备工艺不会相互影响。
主权项：一种电子束矫正器，其特征在于，包括：半导体衬底，位于所述半导体衬底之上的布线层，以及与所述布线层电连接的至少一个矫正电极；所述电子束矫正器设有贯穿所述半导体衬底和所述布线层的至少一个第一通孔，每一个所述第一通孔的内壁设有至少一个所述矫正电极；每一个所述矫正电极的至少部分位于所述布线层中，所述矫正电极为一体结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华为技术有限公司 一种电子束矫正器、其制备方法及扫描电子显微镜
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