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申请/专利权人：徐州博康信息化学品有限公司
摘要：本发明涉及一种有机硅表面活性剂的用途、改善电子束光刻胶灵敏度的方法、电子束光刻胶及其制备与使用，在制备电子束光刻胶时，加入有机硅表面活性剂。电子束光刻胶包括如下质量百分比的各组分：聚甲基丙烯酸甲酯2～15％；溶剂84.85～97.998％；有机硅表面活性剂0.002～0.15％。制备方法：将电子束光刻胶的各组分混合，得到电子束光刻胶。使用方法：将电子束光刻胶涂布在硅片上，依次经过前烘、曝光和显影，得到光刻图案。本发明提出有机硅表面活性剂用于改善电子束光刻胶灵敏度，该电子束光刻胶具有较佳的灵敏度。
主权项：1.一种电子束光刻胶，其特征在于，所述电子束光刻胶包括如下质量百分比的各组分：聚甲基丙烯酸甲酯2～15％；溶剂84.85～97.998％；有机硅表面活性剂0.002～0.15％；所述有机硅表面活性剂为SH21PA。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 徐州博康信息化学品有限公司 有机硅表面活性剂的用途、改善电子束光刻胶灵敏度的方法、电子束光刻胶及其制备与使用
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