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申请/专利权人：三叠纪(广东)科技有限公司;成都迈科科技有限公司
摘要：本发明实施例提供一种原子蒸气室制作方法及原子蒸气室，用以解决现有原子蒸气室制作方法很难实现气室本体的内腔形状和尺寸的精确控制的技术问题。该方法采用高度可控的组件加工及组装工艺，并在真空条件下实现碱金属的加入和惰性气体的注入，以及气室本体的最终激光键合密封。得到的原子蒸气室，不仅内腔形状规则，尺寸精度至少控制在微米级，还具有优良的密封性能，能够为基于原子能级跃迁的精密测量提供纯净的碱金属原子环境。该方法制备的所述原子蒸气室非常适合芯片级量子仪表的集成化和小型化需求，在原子钟、原子磁力仪、原子陀螺仪等高精度量子仪表领域具有广阔的应用前景。
主权项：1.原子蒸气室制作方法，其特征在于，所述制作方法包括以下步骤：使用激光诱导刻蚀技术，在一立方体玻璃基板上加工出气室内腔预制通孔，得到方桶形气室基体；通过机械加工技术，将两块用于封盖的玻璃基板加工成第一气室封盖板和第二气室封盖板；其中，所述第一气室封盖板用于密封所述方桶形气室基体一开口端，所述第二气室封盖板用于密封另一开口端；采用激光键合工艺，用所述第一气室封盖板封闭所述方桶形气室基体的一端开口，得到半封闭的所述方桶形气室基体；将半封闭的所述方桶形气室基体移入真空室内，在真空条件下向其内腔中加入预定量的碱金属或碱金属叠氮化物，然后注入预定量的惰性气体，再用所述第二气室封盖板盖住半封闭的所述方桶形气室基体的开口，得到待键合密封的气室本体前驱结构；在真空室内，将所述气室本体前驱结构固定并密封在透明真空模具盒中，然后将所述透明真空模具盒移动到激光设备的操作腔中；采用激光键合工艺，透过所述透明真空模具盒，将所述第二气室封盖板与半封闭的所述方桶形气室基体键合在一起，得到原子蒸气室。
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百度查询： 三叠纪(广东)科技有限公司 成都迈科科技有限公司 原子蒸气室制作方法及原子蒸气室
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