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申请/专利权人：西安电子科技大学
摘要：本发明公开了一种适用于宽频带设计的单刀单掷开关器件及其制备方法，器件包括：半导体基底以及制备于半导体基底上的欧姆金属、栅金属和多个部分的互连金属；欧姆金属包括依次排列的多个重构区域，其中相邻的重构区域之间设有栅槽；栅金属包括第一栅条、第二栅条和第三栅条；第一栅条和第二栅条分别位于两个目标重构区域内侧的栅槽处，且通过第一部分的互连金属实现互连；第三栅条穿插设置于各非目标重构区域间的栅槽处并一体连接；各非目标重构区域分为两组，其中相邻的非目标重构区域位于不同的组，两组非目标重构区域分别通过第二部分和第三部分的互连金属实现同组互连。本发明提高了开关器件在高频下的隔离度性能。
主权项：1.一种适用于宽频带设计的单刀单掷开关器件，其特征在于，包括：半导体基底，以及制备于所述半导体基底上的欧姆金属、栅金属和多个部分的互连金属；所述欧姆金属包括依次排列的多个重构区域，其中相邻的重构区域之间设有栅槽；所述栅金属包括第一栅条、第二栅条和第三栅条；所述第一栅条和所述第二栅条分别位于两个目标重构区域内侧的栅槽处；所述两个目标重构区域是所述多个重构区域中最外侧的两个重构区域；所述第一栅条和所述第二栅条通过第一部分的互连金属实现互连；所述第三栅条穿插设置于各非目标重构区域间的栅槽处并一体连接；所述非目标重构区域是所述多个重构区域中除所述两个目标重构区域以外的重构区域；所述各非目标重构区域分为两组，其中相邻的非目标重构区域位于不同的组，两组非目标重构区域分别通过第二部分和第三部分的互连金属实现同组互连。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安电子科技大学 一种适用于宽频带设计的单刀单掷开关器件及其制备方法
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