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申请/专利权人：西安航天动力研究所;西安交通大学
摘要：本发明公开了一种冗余薄膜压力传感器，属于薄膜压力传感器技术领域，包括腔壁，腔壁内设置有底部压力敏感膜片，顶部内接有顶部压力敏感膜片，腔壁上部开设有介质入口和介质出口；腔壁、顶部压力敏感膜片和底部压力敏感膜片形成腔体，腔体和介质入口以及介质出口连通；腔体内设置有若干传递力柱，传递力柱上端与顶部压力敏感膜片连接，下端与底部压力敏感膜片连接，顶部压力敏感膜片上设置有应变电阻和温度电阻。本发明解决了现有技术中存在的冗余式薄膜压力传感器在恶劣环境下，出现损坏以及失效，以及高温导致测量精度较差的问题，具有抗热干扰能力强、稳定性能以及使用寿命大大提升的优点。
主权项：1.一种冗余薄膜压力传感器，其特征在于：包括腔壁10，所述腔壁10内设置有底部压力敏感膜片1，顶部内接有顶部压力敏感膜片3，所述腔壁10开设有介质入口8和介质出口9；所述腔壁10、顶部压力敏感膜片3和底部压力敏感膜片1形成腔体11，所述腔体11和介质入口8以及介质出口9连通；腔体11内设置有若干传递力柱2，所述传递力柱2上端与顶部压力敏感膜片3连接，下端与底部压力敏感膜片1连接；所述顶部压力敏感膜片3上设置有应变电阻5和温度电阻6。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安航天动力研究所 西安交通大学 一种冗余薄膜压力传感器
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