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申请/专利权人：周星工程股份有限公司
摘要：本发明提供一种氧化物晶体管的制造方法，包括：通过供应包含铟In和锌Zn的气体且供应包含氧的气体形成第一通道层的步骤；通过供应包含镓Ga的气体且供应包含氧的气体在第一通道层上形成间隔件的步骤；以及通过供应包含铟In和锌Zn的气体且供应包含氧的气体在间隔件上形成第二通道层的步骤，以及通过这些方法制成的氧化物晶体管。
主权项：1.一种氧化物晶体管的制造方法，包括：通过供应包含铟In和锌Zn的气体并供应包含氧的气体形成第一通道层的步骤；通过供应包含镓Ga的气体并供应包含氧的气体在所述第一通道层上形成间隔件的步骤；以及通过供应包含铟In和锌Zn的气体并供应包含氧的气体在所述间隔件上形成第二通道层的步骤。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 周星工程股份有限公司 氧化物晶体管以及其制造方法
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