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申请/专利权人：深圳大学
摘要：本申请提供了金属氧化物纳米层的制备方法、金属氧化物纳米叠层结构及传感器。金属氧化物纳米层的制备方法包括提供衬底与金属盐基材。将金属盐基材设于衬底的表面，形成设于衬底一侧的金属盐层。采用聚焦离子束对金属盐层进行曝光，使金属盐层转化为金属氧化物纳米层。本申请采用聚焦离子束对金属盐层进行曝光的方式，使金属盐层的离子分解，从而使金属盐层转化为金属氧化物纳米层，该制备方法操作简单、反应条件低、成本低、毒性低、衬底兼容度高。并且，通过控制聚焦离子束，可在指定区域内实现金属氧化物纳米层的制备，即，实现金属氧化物纳米层的图案化，满足多种加工需求。
主权项：1.一种金属氧化物纳米层的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：提供衬底与金属盐基材；将金属盐基材设于所述衬底的表面，形成设于所述衬底一侧的金属盐层；采用聚焦离子束对所述金属盐层进行曝光，使所述金属盐层转化为金属氧化物纳米层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳大学 金属氧化物纳米层的制备方法、金属氧化物纳米叠层结构及传感器
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