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申请/专利权人:京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司
摘要:提供了一种金属氧化物膜层,其包括:第一势垒层;势阱层,其位于第一势垒层的一侧;和第二势垒层,其位于势阱层的远离第一势垒层的一侧,其中,第一势垒层、势阱层、第二势垒层的材料均为金属氧化物,势阱层的导带能级小于第一势垒层的导带能级,并且小于第二势垒层的导带能级。金属氧化物膜层还包括功能层,其中,功能层位于势阱层的远离第一势垒层的一侧,功能层的材料选自镨或钽的氧化物;或者金属氧化物膜层不包括功能层,势阱层的材料包括镨或钽元素。
主权项:1.一种金属氧化物膜层,包括:第一势垒层;势阱层,其位于所述第一势垒层的一侧;第二势垒层,其位于所述势阱层的远离所述第一势垒层的一侧;和功能层,其位于所述势阱层的远离所述第一势垒层的一侧,其中,所述第一势垒层、所述势阱层、所述第二势垒层的材料均为金属氧化物,所述势阱层的导带能级小于所述第一势垒层的导带能级,并且小于所述第二势垒层的导带能级,以及所述功能层的材料选自镨或钽的氧化物。
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百度查询: 京东方科技集团股份有限公司 北京京东方技术开发有限公司 金属氧化物膜层和薄膜晶体管
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