龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：捷捷微电(南通)科技有限公司
摘要：本发明提出一种二极管集成式制造方法及集成式二极管，属于半导体技术领域，制造方法包括：在TMBS的外延衬底上划分TMBS区和TVS区，在TVS区上形成PN结，并在TVS区上形成TVS沟槽栅，在TMBS区上形成TMBS沟槽栅；在TMBS区形成绝缘层和层间介质层，并在TMBS区生成TMBS金属层，在TVS区生成TVS金属层，以得到第三中间晶圆；在第三中间晶圆上生长钝化层，并在钝化层上光刻出TMBS金属层和TVS金属层；在外延衬底的背面上形成背面金属层，以得到TMBS和TVS并联的集成式二极管。如此，TMBS和TVS集成在一块外延衬底上，大大地减少了衬底材料、工艺制程、封装及线材等成本。同时，实现一起封装，从而能够避免因单独封装接线而导致的应用失效风险，极大地降低应用失效风险。
主权项：1.一种二极管集成式制造方法，其特征在于，所述方法包括：在TMBS的外延衬底上划分TMBS区和TVS区，在所述TVS区上形成PN结，以得到第一中间晶圆；在所述第一中间晶圆的所述TVS区上形成TVS沟槽栅，在所述第一中间晶圆的所述TMBS区上形成TMBS沟槽栅，以得到第二中间晶圆；在所述第二中间晶圆的TMBS区形成绝缘层和层间介质层，并在所述TMBS区生成TMBS金属层，在所述TVS区生成TVS金属层，以得到第三中间晶圆；其中，所述层间介质层位于所述TMBS沟槽栅的终端沟槽上；在所述第三中间晶圆上生长钝化层，并在所述钝化层上光刻出所述TMBS金属层和所述TVS金属层；在所述外延衬底的背面上形成背面金属层，以得到TMBS和TVS并联的集成式二极管。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 捷捷微电(南通)科技有限公司 二极管集成式制造方法及集成式二极管
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号