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申请/专利权人：上海新毅东半导体科技有限公司
摘要：本申请提供一种颗粒度检测系统，涉及缺陷检测技术领域。该颗粒度检测系统包括：载台、盒体、设置在盒体上的第一光源、第一镜组、反射动镜、第二光源、第二镜组和相机；反射动镜具有第一工作角度和第二工作角度，第一光源用于在反射动镜处于第一工作角度时向待检测件的第一表面出射第一光束，第一光束经第一镜组和第一表面反射后射向反射动镜，并经反射动镜反射后进入相机；第二光源用于在反射动镜处于第二工作角度时向待检测件的第二表面出射第二光束，第二光束经第二镜组和第二表面反射后射向反射动镜，并经反射动镜反射后进入相机。该颗粒度检测系统在加入了反射动镜后，能够简化检测光路，降低成本，同时也不会增加检测过程的总体耗时。
主权项：1.一种颗粒度检测系统，其特征在于，包括：载台、盒体、设置在所述盒体上的第一光源、第一镜组、反射动镜、第二光源、第二镜组和相机，所述载台用于承载待检测件，并带动所述待检测件进出所述盒体，所述载台能够将所述待检测件的第一表面和与所述第一表面相对的第二表面露出；所述反射动镜具有第一工作角度和第二工作角度，所述第一光源用于在所述反射动镜处于所述第一工作角度时向所述待检测件的所述第一表面出射第一光束，所述第一光束经所述第一镜组和所述第一表面反射后射向所述反射动镜，并经所述反射动镜反射后进入所述相机；所述第二光源用于在所述反射动镜处于所述第二工作角度时向所述待检测件的所述第二表面出射第二光束，所述第二光束经所述第二镜组和所述第二表面反射后射向所述反射动镜，并经所述反射动镜反射后进入所述相机。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海新毅东半导体科技有限公司 一种颗粒度检测系统
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