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申请/专利权人：上海新毅东半导体科技有限公司
摘要：本申请提供一种颗粒度检测方法，涉及缺陷检测技术领域。该颗粒度检测方法使用同一反射动镜同时参与待检测件第一表面和第二表面的检测，通过反射动镜工作角度的切换，只需一个相机就能完成拍摄待检测件第一表面和第二表面的工作，有效简化了检测光路，降低了成本。而且，待检测件进板和出板时本身就会有减速、停止和加速的过程，只要将反射动镜的旋转时机设置在待检测件停止时，就能够将反射动镜的旋转巧妙地融合在待检测件的运动流程中，从而不增加检测过程的整体耗时。
主权项：1.一种颗粒度检测方法，其特征在于，包括：将待检测件置于载台上，开启第一光源和相机，调整反射动镜至第一工作角度；驱动所述载台由初始位向停止位移动，所述第一光源向所述待检测件的第一表面出射第一光束，随着所述待检测件的移动，所述第一光束依次照射在所述第一表面的不同区域内；将所述第一表面反射的所述第一光束射向所述反射动镜，再经所述反射动镜反射后进入所述相机；控制所述相机按照第一预设频率对所述第一表面进行拍摄，以获取所述第一表面的多张第一子图像，直至所述载台到达所述停止位；调整所述反射动镜至第二工作角度，并开启第二光源；驱动所述载台由所述停止位向所述初始位移动，所述第二光源向所述待检测件的第二表面出射第二光束，随着所述待检测件的移动，所述第二光束依次照射在所述第二表面的不同区域内；将所述第二表面反射的所述第二光束射向所述反射动镜，再经所述反射动镜反射后进入所述相机；控制所述相机按照第二预设频率对所述第二表面进行拍摄，以获取所述第二表面的多张第二子图像，直至所述载台到达所述初始位；获取所述第一子图像和所述第二子图像上的颗粒图像，并对所述颗粒图像进行算法分析，以判定所述颗粒图像对应的颗粒是否为缺陷。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海新毅东半导体科技有限公司 一种颗粒度检测方法
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