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申请/专利权人：天津科技大学
摘要：本发明提供了一种新型悬浮波导矩阵薄膜铌酸锂声光调制器，属于声光调制技术领域，包括由下至上层叠的体铌酸锂衬底和多个悬浮波导层，各悬浮波导层均包括由下至上层叠的体铌酸锂衬底、刻蚀后的二氧化硅缓冲层、铌酸锂薄膜、光波导和叉指电极、刻蚀后二氧化硅缓冲层和电磁屏蔽层，各波导层的所有光波导均对应与其位置相关的二维坐标，所有二维坐标形成波导矩阵，分别记载波导矩阵中各元素所对应的光波导的工作参数，各波导层按照层叠顺序依次制备。本发明能够包含多个可用光波导，可调制多种光波长激光，多波段兼容性：悬浮波导结构可以适用于可见光和红外光等不同波段的光信号调制，因此具有更广泛的应用范围。
主权项：1.悬浮波导矩阵薄膜铌酸锂声光调制器，其特征在于：包括由下至上层叠的体铌酸锂衬底和多个波导层，各波导层均包括由下至上层叠的二氧化硅缓冲层、铌酸锂薄膜、悬浮光波导、叉指电极、刻蚀后二氧化硅缓冲层和电磁屏蔽层，各波导层的所有光波导均对应与其位置相关的二维坐标，所有二维坐标形成波导矩阵，分别记载波导矩阵中各元素所对应的光波导的工作参数，不同波长光纤可根据需要耦合至对应位置的光波导，刻蚀后二氧化硅缓冲层底面刻蚀有与叉指电极匹配的凹槽和预留的悬浮波导区域，各波导层按照层叠顺序依次制备，电磁屏蔽层由碳纳米材料制成，采用缓冲质子交换技术在铌酸锂薄膜层制作光波导。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津科技大学 悬浮波导矩阵薄膜铌酸锂声光调制器
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