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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本申请大体上关于一种用于热处理腔室的腔室部件，所述腔室部件包括底座部件上设置有涂层的底座部件，所述涂层具有底座部件上设置有涂层的底座部件，所述涂层包括表面、厚度和从所述涂层的表面延伸穿过所述涂层厚度的至少40％的多个裂纹。
主权项：1.一种用于热处理腔室的腔室部件，包括:底座部件，所述底座部件上设置有涂层，所述涂层包括：表面，厚度，以及多个裂纹，从所述涂层的所述表面延伸穿过所述涂层的所述厚度的至少40％。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 高温快速热处理中供低缺陷的致密垂直分段硅涂层
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