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申请/专利权人：苏州密卡特诺精密机械有限公司
摘要：本发明提供一种IGBT盖板分离机构及IGBT盖板分离检测装置，涉及半导体技术领域。IGBT盖板分离机构包括夹持模组，夹持模组包括两个夹持组件，每个夹持组件包括沿第一水平方向延伸的连杆和沿第二水平方向延伸的至少一个夹持板，每个夹持板的底部设有与贯穿孔对应布置的多个夹爪，夹爪的底部设置成穿过贯穿孔进入让位空间并与IGBT盖板的底部抵接，第一驱动件和第二驱动件用于驱动两个夹持组件的多个夹爪同步移动，以使得多个夹爪带动IGBT盖板与治具分离；压板位于夹持板的底部，且压板与夹持板之间通过多个弹性组件连接，使得压板始终压合于IGBT盖板顶部。本发明的IGBT盖板分离机构能够带动IGBT盖板与治具分离时保证IGBT盖板受力均匀，防止IGBT盖板发生形变。
主权项：1.一种IGBT盖板分离机构，用于分离所述IGBT盖板和治具，所述IGBT盖板设有沿第一水平方向间隔均匀设置的至少一个贯穿孔组，每个所述贯穿孔组包括沿第二水平方向间隔均匀布置的多个贯穿孔，所述第二水平方向与所述第一水平方向垂直，所述治具与所述IGBT盖板的每一所述贯穿孔的两侧下方设有让位空间，其特征在于，IGBT盖板分离机构包括：夹持模组，包括两个夹持组件，每个所述夹持组件包括沿所述第一水平方向延伸的连杆和沿所述第二水平方向延伸的至少一个夹持板，所述连杆与所有所述夹持板连接，每个所述夹持板组件的一个所述夹持板对应一个所述贯穿孔组，每个所述夹持板的底部设有朝向所述贯穿孔凸伸且与所述贯穿孔对应布置的多个夹爪，所述夹爪的底部设置成穿过对应的所述贯穿孔进入所述让位空间并与所述IGBT盖板的底部抵接；第一驱动件，用于驱动两个所述夹持组件相互靠近或远离；第二驱动件，用于在两个所述夹持组件相背移动至所述夹爪进入所述让位空间时驱动两个所述夹持组件上移，以使得多个所述夹爪带动所述IGBT盖板与所述治具分离；压板，位于所述夹持板的底部，且所述压板与所述夹持板之间通过多个弹性组件连接，所述弹性组件用于对所述压板提供弹性力，使得所述压板始终压合于所述IGBT盖板顶部。
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