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一种激光整形系统 

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申请/专利权人:海目星激光科技集团股份有限公司

摘要:本申请公开一种激光整形系统,其包括:激光发生装置,用于发射初始激光束;激光分光组件,位于初始激光束的光路中,用于依次对初始激光束进行预处理和偏振分光处理,以得到第一激光束和第二激光束;SLM整形组件,位于第一激光束的光路中,用于通过空间光调制的方式改变第一激光束的相位和或振幅,来对第一激光束进行第一预设整形操作,以得到具有预设形状的第一光斑;DOE整形组件,位于第一激光束的光路中,用于通过光学衍射的方式改变第二激光束的相位和或振幅,来对第二激光束进行第二预设整形操作,以得到具有预设形状的第二光斑。本技术方案,其可改善现有激光整形系统采用单光路结构设置,无法确保其加工精度及加工效率的技术问题。

主权项:1.一种激光整形系统,应用于激光加工操作中,其特征在于,包括激光发生装置、激光分光组件、SLM整形组件和DOE整形组件,其中,所述激光发生装置,用于发射初始激光束;所述激光分光组件,位于所述初始激光束的光路中,用于依次对所述初始激光束进行预处理和偏振分光处理,以得到具有第一偏振态的第一激光束和具有第二偏振态的第二激光束;所述SLM整形组件,位于所述第一激光束的光路中,用于通过空间光调制的方式改变所述第一激光束的相位和或振幅,来对所述第一激光束进行第一预设整形操作,以在激光工作面上投影得到具有预设形状的第一光斑;所述DOE整形组件,位于所述第一激光束的光路中,用于通过光学衍射的方式改变所述第二激光束的相位和或振幅,来对所述第二激光束进行第二预设整形操作,以在激光工作面上投影得到具有所述预设形状的第二光斑。

全文数据:

权利要求:

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