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丙烯酸酯胶粘剂、胶粘剂组合物及保护膜 

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申请/专利权人:浙江东柔新材料有限公司

摘要:本发明公开了丙烯酸酯胶粘剂、胶粘剂组合物及保护膜。按重量百分比算,将第一单体、第二单体、第三单体混合,再加入一定量的热引发剂和第一溶剂,在氮气气氛下共聚,然后移除氮气,加入一定比例的第四单体,继续反应2h,得到所需胶粘剂。将固化剂、光引发剂、UV树脂、第二溶剂以及丙烯酸酯胶粘剂混合,形成胶粘剂组合物。在基材涂覆有上述的胶粘剂组合物,胶粘剂组合物上覆盖有离型膜,得到保护膜。本发明所制造的保护膜,可以广泛应用于半导体前端磨片、减薄、取片工艺的制程保护,保证整个过程中硅片不碎片、不断裂、晶圆表面无小分子残留,对晶圆表面无污染。

主权项:1.丙烯酸酯胶粘剂的制备方法,其特征在于,按重量百分比算,将60-70%的第一单体、10-20%的第二单体、0-5%的第三单体混合,再加入一定量的热引发剂和第一溶剂,在氮气气氛下共聚,然后移除氮气,加入一定比例的第四单体,继续反应2h,得到所需胶粘剂,第一单体包括丙烯酸丁酯、丙烯酸异辛酯、丙烯酸乙酯中的一种或者多种,所述第二单体包括丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸丁酯、醋酸乙烯酯、苯乙烯中的一种或者多种,所述第三单体包括丙烯酸羟乙酯、丙烯酸羟丁酯、丙烯酸羟丙酯、丙烯酸、甲基丙烯酸中的一种或者多种,第四单体包括甲基丙烯酸异氰基乙酯、丙烯酸异氰基乙酯中的一种或多种,所述热引发剂为偶氮类或者过氧化物,所述第一溶剂为乙酸乙酯、甲苯、丁酮的一种或多种。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 浙江东柔新材料有限公司 丙烯酸酯胶粘剂、胶粘剂组合物及保护膜

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