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申请/专利权人：青岛四方思锐智能技术有限公司
摘要：本申请提供一种反应腔室温度的控制系统、方法及电子设备，应用于控制系统技术领域，该控制系统包括：腔内温度检测模块、若干个加热丝温度检测模块、上位机，上位机包括：主控制器、若干个加热丝控制器。各加热丝温度检测模块用于检测各加热丝的温度，各加热丝控制器用于控制各加热丝的工作功率。在反应内腔温度发生变化需要加热丝调整至对应的供热量时，由上位机进行逻辑判断，并生成对应的控制指令至不同的加热丝控制器，由加热丝控制器二次结合对应的加热丝本身的温度，确定具体各加热丝所需调整到的工作功率，基于计算得到的调整工作功率对加热丝的实际工作功率进行调整，使得加热丝功率调整精度更高，减少该加热丝调整滞后性引发的寿命受损。
主权项：1.一种反应腔室温度的控制系统，其特征在于，所述控制系统包括：腔内温度检测模块、若干个加热丝温度检测模块、上位机；所述上位机包括：主控制器、若干个加热丝控制器；其中，各所述加热丝温度检测模块用于检测各自对应的加热丝的温度，各所述加热丝控制器用于控制各自对应的加热丝的工作功率；其中：所述主控制器，用于获取所述腔内温度检测模块检测到的原子层沉积系统的反应内腔的温度，并将所述反应内腔的温度与设定的内腔工作温度范围进行比较，根据所述反应内腔温度与所述内腔工作温度范围的不同比较结果，向各所述加热丝控制器分别发送不同的控制指令；各所述加热丝控制器，用于获取各自对应的加热丝温度检测模块获取的各自对应的加热丝的温度，接收所述主控制器发送的所述控制指令结合所获取的各自对应的加热丝的温度，确定各自对应的加热丝的调整工作功率，并根据所述调整工作功率调整对应的加热丝的工作功率。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青岛四方思锐智能技术有限公司 一种反应腔室温度的控制系统、方法及电子设备
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