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申请/专利权人：山东大学
摘要：本发明提出了一种基于空间光调制器的激光并行加工装置及方法，装置包括：激光发生器，用于产生脉冲激光；光路设计单元，用于对脉冲激光进行光场调制，得到调制脉冲激光；空间光调制器，用于对调制脉冲激光进行分束处理，得到多束子脉冲激光；激光加工头单元，用于聚焦多束子脉冲激光，形成多焦点脉冲激光；五维运动平台，用于控制SiC晶锭与多焦点脉冲激光进行相对运动，在预设的深度和行进路线上完成对SiC晶锭的扫描加工。本发明可实现传统单焦点脉冲激光多次扫描加工的效果，即经过一次扫描即可达到多次扫描加工，减少了扫描的次数，大大降低了加工耗时，提高了加工的效率。
主权项：1.一种基于空间光调制器的激光并行加工装置，其特征在于，包括：激光发生器，用于产生脉冲激光；光路设计单元，用于对脉冲激光进行光场调制，得到调制脉冲激光；空间光调制器，用于对调制脉冲激光进行分束处理，得到多束子脉冲激光；激光加工头单元，用于聚焦多束子脉冲激光，形成多焦点脉冲激光；五维运动平台，用于控制SiC晶锭与多焦点脉冲激光进行相对运动，在预设的深度和行进路线上完成对SiC晶锭的扫描加工。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东大学 一种基于空间光调制器的激光并行加工装置及方法
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