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申请/专利权人：苏州矩阵光电有限公司
摘要：本申请公开一种三维磁场检测芯片及传感器及磁场分量检测方法，三维磁场检测芯片包括基于同一晶圆片整体切割所得的霍尔晶圆阵列和覆盖在霍尔晶圆阵列上的聚磁体，霍尔晶圆阵列包括四个呈矩形阵列排布的磁感应部和电极部，对角设置的两个磁感应部的工作电流方向正交，第一对角设置的两个磁感应部之间的第一对角线与第二对角设置的两个磁感应部之间的第二对角线正交；聚磁体在霍尔晶圆阵列的正投影覆盖每个磁感应部的敏感中心区，聚磁体在第一对角设置两个磁感应部上的正投影的边界垂直于第一对角线，聚磁体在第二对角设置两个磁感应部上的正投影的边界垂直于第二对角线，该三维磁场检测芯片具有零偏移、低成本、低误差，小型化和抗干扰的能力。
主权项：1.一种三维磁场检测芯片，其特征在于，包括：霍尔晶圆阵列，所述霍尔晶圆阵列为基于同一晶圆片整体切割所得的连续整体，包括至少四个磁感应部以及与四个所述磁感应部电连接的电极部，四个所述磁感应部呈矩形阵列排布，对角设置的两个所述磁感应部的工作电流方向正交，第一对角设置的两个所述磁感应部之间的第一对角线与第二对角设置的两个所述磁感应部之间的第二对角线相互正交；聚磁体，覆盖在所述霍尔晶圆阵列上，所述聚磁体在所述霍尔晶圆阵列的正投影覆盖每个所述磁感应部的敏感中心区，所述聚磁体在所述第一对角设置两个所述磁感应部上的正投影的边界垂直于第一对角线，所述聚磁体在所述第二对角设置两个所述磁感应部上的正投影的边界垂直于第二对角线。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州矩阵光电有限公司 一种三维磁场检测芯片及传感器及磁场分量检测方法
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