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申请/专利权人：福吉米株式会社
摘要：本发明提供用于能够提高研磨对象物的研磨速度的手段。提供一种研磨用组合物，其包含：磨粒、分散介质和水溶性聚合物，前述磨粒是平均粒径d50大于1.0μm、且一次颗粒的圆形度为0.90以上的二氧化硅颗粒，前述磨粒的分散度D为2.0以下。
主权项：1.一种研磨用组合物，其包含：磨粒、分散介质和水溶性聚合物，所述磨粒是平均粒径d50大于1.0μm、且一次颗粒的圆形度为0.90以上的二氧化硅颗粒，所述磨粒的分散度D为2.0以下。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 福吉米株式会社 研磨用组合物及使用其的研磨方法
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