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申请/专利权人：江苏道达智能科技有限公司
摘要：本发明公开一种半导体硅片入库光学检测操作台，涉及半导体生产技术领域；而本发明包括梯级检测台，梯级检测台的一端装配有第一输送线，梯级检测台的中部装配有第二输送线；通过在第一输送线、第二输送线及第三输送线之间设置旋转机构及翻边机构，旋转机构通过一个料台使半导体硅片旋转一圈，供第一光学检测仪完成单面拍照及识别检测，翻转机构对单面检测后的半导体硅片进行翻边处理，旋转机构通过另一个转台使半导体硅片再次旋转一圈，供第二光学检测仪完成另一面的拍照及识别检测，从而实现半导体硅片的双面自动检测，以及批量半导体硅片的自动流水线检测，提高半导体硅片的检测效率，以便于快速入库，降低人工作业时间，同时降低检测成本。
主权项：1.一种半导体硅片入库光学检测操作台，包括梯级检测台1，其特征在于：所述梯级检测台1的一端装配有第一输送线11，所述梯级检测台1的中部装配有第二输送线13，所述第一输送线11与第二输送线13之间装配有流通通道12，所述梯级检测台1远离第一输送线11的一端装配有第三输送线14，所述梯级检测台1的两端均设有料台19，其中一个所述料台19位于第一输送线11与流通通道12之间，另一个所述料台19位于第二输送线13与第三输送线14之间，两个所述料台19的位置处均设有旋转机构2，所述旋转机构2上设有限位机构4，所述第一输送线11与流通通道12之间设有翻边机构6。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏道达智能科技有限公司 一种半导体硅片入库光学检测操作台
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