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申请/专利权人：江苏中科智芯集成科技有限公司
摘要：本发明提供了一种晶圆AOI检测方法及系统，该方法包括：获取晶圆图像；将晶圆图像划分为若干个子区域并基于欧式距离算法计算每个子区域内裸片的色差距离和；获取每个子区域的灰度量；基于每个子区域的灰度量对晶圆图像重新划分，获取若干个连续的图像范围；在每个图像范围中，确定一裸片作为检测对象并计算该裸片与相邻裸片的灰度差值，获取该裸片的缺陷信息，进而获取每个图像范围中所有裸片的缺陷信息，得到每个图像范围的缺陷信息。本发明提供的一种晶圆AOI检测方法，巧妙地采用灰度量代替现有的直接采用灰度值进行缺陷判断的方式，可以有效地剥离工艺导致的色差对检测产生的影响，提高对晶圆色差的宽容度，提升晶圆缺陷的有效检出率。
主权项：1.一种晶圆AOI检测方法，其特征在于，包括以下步骤：获取晶圆图像；将晶圆图像划分为若干个子区域并基于欧式距离算法计算每个子区域内裸片的色差距离和；将每个子区域内裸片的色差距离和进行标准化处理，获取每个子区域的灰度量；基于每个子区域的灰度量对晶圆图像重新划分，获取若干个连续的图像范围，每个图像范围内的子区域的灰度量差值符合预设条件；其中，根据每个所述子区域的灰度量判断每个所述子区域是否存在色差线并将存在色差线的所述子区域划分到同一个图像范围，将每个所述图像范围内的裸片与同一生产线生产的标准晶圆进行对照分析，以获取每个图像范围中所有需标记的裸片的缺陷信息，进而得到每个图像范围的缺陷信息；将不存在色差线的所述子区域划分到同一个图像范围，在每个图像范围中，确定一裸片作为检测对象并计算该裸片与相邻裸片的灰度差值，获取该裸片的缺陷信息，进而获取每个图像范围中所有裸片的缺陷信息，得到每个图像范围的缺陷信息；具体为：在每个图像范围中，确定一裸片作为检测对象；计算该裸片与相邻裸片的灰度差值，得到至少包括第一差值和第二差值；获取第一差值和第二差值的差值，若该差值不符合预设阈值，则对该裸片进行标记，获取该裸片的缺陷信息；重新确定一裸片，重复执行上述步骤，以获取每个图像范围中所有需标记的裸片的缺陷信息，进而得到每个图像范围的缺陷信息。
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权利要求：
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