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申请/专利权人：科磊股份有限公司
摘要：本发明提供散射术重叠SCOL测量方法、系统及目标以实现具有裸片中目标的有效SCOL计量。方法包括通过以下项产生信号矩阵：以至少一个照明参数的多个值且在SCOL目标上的多个光点位置照明所述目标，其中所述照明是以产生光点直径1μ的NA数值孔径13；测量零级及第一衍射级的干扰信号；及相对于所述照明参数及所述目标上的所述光点位置从测量信号建构所述信号矩阵；及通过分析所述信号矩阵而导出目标重叠。所述SCOL目标的尺寸可减小到相对于现有技术目标的十分之一，这是因为需要较少且较小目标单元，且容易设置于裸片中以改进计量测量的准确性及保真度。
主权项：1.一种散射术重叠SCOL测量方法，其包括：通过以下项产生信号矩阵：以至少一个照明参数的多个值且在SCOL目标上的多个光点位置照明所述SCOL目标，其中所述照明是以大于13的数值孔径NA产生小于1μ的光点直径，测量零级衍射级及第一衍射级的干扰信号，及相对于所述照明参数及所述SCOL目标上的所述光点位置从经测量干扰信号建构所述信号矩阵，及通过分析所述信号矩阵而导出目标重叠，其中所述SCOL目标包括至少一个周期性结构且所述多个光点位置是在所述至少一个周期性结构的节距内，且所述方法进一步包括沿所述至少一个周期性结构的测量方向将所述目标上的所述多个光点位置设置于目标节距内，其中所述SCOL目标上的所述光点位置经设置从而至少部分地相互重叠，及通过沿所述至少一个周期性结构的元件扫描所述SCOL目标而在垂直于所述测量方向的方向上对所述经测量干扰信号取平均值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 科磊股份有限公司 单个单元灰度散射术重叠目标及其使用变化照明参数的测量
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