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申请/专利权人：大连芯材薄膜技术有限公司
摘要：一种双层反向自发极化纤锌矿薄膜并联式压电传感器及制备方法，包括器件衬底；沉积在器件衬底上的绝缘层薄膜；沉积在绝缘层薄膜上的第一电极层薄膜；沉积在第一电极层薄膜上的第一压电层薄膜；沉积在第一压电层薄膜上的第二电极层薄膜；沉积在第二电极层薄膜上的第二压电层薄膜；沉积在第二压电层薄膜上的第三电极层薄膜；沉积在第三电极层薄膜上的保护层薄膜；用于将第一电极层薄膜和第三电极层薄膜导通的桥接引线。第一和第二压电层薄膜的初始极化方向相反。本发明无序额外增加预极化步骤，结构简单，制备容易，有利于集成，成本低的优点；压电薄膜叠层设置的结构可以在相同的外部激励下得到更强的输出信号，显著提高了压电薄膜传感器的灵敏度。
主权项：1.一种双层反向自发极化纤锌矿薄膜并联式压电传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、清洗器件衬底；S2、采用磁控溅射技术在器件衬底表面沉积绝缘层薄膜；S3、采用磁控溅射技术沉积第一电极层薄膜；S4、采用磁控溅射技术沉积第一压电层薄膜；通过改变第一压电层薄膜特定的薄膜生长参数，使得制备出来的纤锌矿压电薄膜材料的初始极化方向与薄膜生长方向平行；所述的薄膜生长参数包括溅射模式、溅射功率、溅射气压、气体流量；S5、采用磁控溅射技术沉积第二电极层薄膜；S6、采用磁控溅射技术沉积第二压电层薄膜；通过改变第二压电层薄膜特定的薄膜生长参数，使得制备出来的纤锌矿压电薄膜材料的初始极化方向与薄膜生长方向反平行；所述的薄膜生长参数包括溅射模式、溅射功率、溅射气压、气体流量；S7、采用磁控溅射技术沉积第三电极层薄膜；S8、将上述制备完成的叠层薄膜放在真空溅射室内，采用磁控溅射技术沉积保护层薄膜，随炉冷却后取出样品；S9、采用引线桥接将第一电极层和第三电极层导通。
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