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申请/专利权人：济宁东方芯电子科技有限公司
摘要：本实用新型涉及清洗装置技术领域，且公开了一种可控硅芯片生产用的芯片清洗装置，包括：外筒，内部为空腔设置，且该外筒的底面具有排水孔设置；水箱，设置在外筒的左方，所述水箱通过支撑板与外筒的外壁固定安装；环形管，固定安装在外筒的内壁，所述环形板的下表面开设有出水孔；连通管，一端与水箱内的水泵连通设置，另一端贯穿外筒的外壁，延伸至与环形管的外壁连通设置；清洗组件，设置在外筒的内部。该可控硅芯片生产用的芯片清洗装置，通过设置的微振部可以在旋转部的配合下实现滤筒的微振，将芯片上的杂质振落下来，尤其是在设置的弹簧作用下可以加强振动性能，最后加强了清洗力度。
主权项：1.一种可控硅芯片生产用的芯片清洗装置，其特征在于：包括：外筒1，内部为空腔设置，且该外筒1的底面具有排水孔设置；水箱3，设置在外筒1的左方，所述水箱3通过支撑板4与外筒1的外壁固定安装；环形管6，固定安装在外筒1的内壁，所述环形管6的下表面开设有出水孔；连通管5，一端与水箱3内的水泵连通设置，另一端贯穿外筒1的外壁，延伸至与环形管6的外壁连通设置；清洗组件7，设置在外筒1的内部；其中，所述清洗组件7包括设置在外筒1内壁底部的旋转部71，所述旋转部71连接设置有微振部72，所述微振部72与外筒1的内壁连接设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 济宁东方芯电子科技有限公司 一种可控硅芯片生产用的芯片清洗装置
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