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一种增强金属薄膜镀层厚度均匀性的新型电镀系统 

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申请/专利权人:深圳金美新材料科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种增强金属薄膜镀层厚度均匀性的新型电镀系统,包括电镀槽,所述电镀槽中设置有多个不溶性阳极,多个所述不溶性阳极沿薄膜幅宽方向均匀分布,各个所述不溶性阳极间隔设置,各个所述不溶性阳极分别连接不同的电源。本实用新型通过将各个不溶性阳极与不同的电源连接,使得各个不溶性阳极通过独立电源控制,可以精确地调整每个不溶性阳极上的电流,从而确保在金属薄膜上沉积的镀层厚度均匀,从而提高生产质量。由于不溶性阳极间隔设置,各个不溶性阳极不会接触,则电流不会在不溶性阳极之间乱串,增强了电流的稳定性,有利于镀层厚度的均匀性。

主权项:1.一种增强金属薄膜镀层厚度均匀性的新型电镀系统,其特征在于,包括电镀槽,所述电镀槽中设置有多个不溶性阳极,多个所述不溶性阳极沿薄膜幅宽方向均匀分布,各个所述不溶性阳极间隔设置,各个所述不溶性阳极分别连接不同的电源。

全文数据:

权利要求:

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