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申请/专利权人：嘉兴弘毅电子科技有限公司
摘要：本实用新型提出一种晶圆自动定心寻边装置，其包括支承装配组件、横向导移组件、横向驱动组件、竖向驱动组件、晶圆支托组件、晶圆驱转组件、晶圆扫描组件及晶圆移送组件，该晶圆自动定心寻边装置通过各组件的精确配合，实现了晶圆的自动定心、寻边、移送等操作，大大提高了生产效率和自动化程度，降低了人工操作的复杂性和错误率，横向导移组件、竖向驱动组件、晶圆支托组件等设计，使得晶圆在移动和定位过程中具有极高的精度，保证了晶圆加工或检测的质量，晶圆支托组件、晶圆驱转组件和晶圆移送组件等可根据不同的晶圆尺寸和形状进行调整，具有较强的适应性和灵活性，具有自动化程度高、精度高、适应性强、操作便捷和安全可靠等优点。
主权项：1.一种晶圆自动定心寻边装置，其特征在于，包括：支承装配组件，该支承装配组件通过连接件安装于机架中，其内部具有装配空间；横向导移组件，该横向导移组件安装于支承装配组件中；横向驱动组件，该横向驱动组件安装于支承装配组件中，并与横向导移组件位置对应；竖向驱动组件，该竖向驱动组件通过活动连接结构安装于横向导移组件上，横向驱动组件与竖向驱动组件配合，可携带竖向驱动组件在横向导移组件上沿横向移动；晶圆支托组件，该晶圆支托组件安装于竖向驱动组件上，可随竖向驱动组件一同沿横向移动，并由竖向驱动组件带动晶圆支托组件沿竖向移动，晶圆支托组件内具有放置晶圆的支托空间，由晶圆支托组件携带晶圆移动并使其定心；晶圆驱转组件，该晶圆驱转组件通过转动结构安装于支承装配组件中，并与晶圆支托组件位置对应，由晶圆驱转组件带动晶圆转动；晶圆扫描组件，该晶圆扫描组件安装于支承装配组件中，并与晶圆驱转组件位置对应，由晶圆扫描组件对转动状态的晶圆进行寻边扫描；晶圆移送组件，该晶圆移送组件安装于支承装配组件中，并与晶圆驱转组件位置对应，可在寻边扫描完成后对晶圆驱转组件上的晶圆进行移送。
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权利要求：
百度查询： 嘉兴弘毅电子科技有限公司 一种晶圆自动定心寻边装置
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