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申请/专利权人：新阳硅密(上海)半导体技术有限公司
摘要：本实用新型提供的控制晶圆电镀速率的装置，除了包括可调节电镀速率的辅助金属电极外，还设置了随设备转动而有规律性触发的开关结构，所述开关结构包括启闭开关和开关触发装置，辅助金属电极负极电连接，启闭开关设置于辅助金属电极与电源的连接通路上；所述开关触发装置包括激光通信装置和控制装置，所述激光通信装置包括信号识别结构和激光信号发射接收器，所述信号识别结构与激光信号发射接收器配合释放启闭开关闭合或断开的信号，实现启闭开关闭合，从而在线实时控制辅助金属电极接入电路中的时间，进而控制晶圆电镀速率，使晶圆表面尤其是晶圆缺口或平边附近的电镀层厚度尽可能地符合要求，提高产品的可靠性。
主权项：1.一种控制晶圆电镀速率的装置，其特征在于，包括电镀组件和电镀速率调节组件；所述电镀组件包括电镀头、电镀槽、阳极金属以及电源；所述电镀头用于夹持晶圆且可带动晶圆旋转；所述阳极金属设置于电镀槽内且于电镀时浸没于电镀液中；所述电源的正极电连接阳极金属，电源的负极电连接电镀头；所述电镀速率调节组件包括辅助金属电极、启闭开关、开关触发装置；辅助金属电极设置于电镀槽内的指定区域且于电镀时全部或部分浸没于电镀液中，辅助金属电极与电源的负极电连接，启闭开关设置于辅助金属电极所在的连接通路上；所述开关触发装置包括激光通信装置和控制装置，所述激光通信装置包括信号识别结构和激光信号发射接收器，所述信号识别结构设置在电镀头外侧并在电镀头的带动下与晶圆同步旋转，在晶圆缺口旋转至即将靠近至稍微远离辅助金属电极所在指定区域的期间内，激光信号发射接收器与信号识别结构相对，激光信号发射接收器发出激光落在信号识别结构表面，信号识别结构将激光信号反射至激光信号发射接收器，激光信号发射接收器接收到激光反射信号后向控制装置释放闭合启闭开关的信号，控制装置控制启闭开关闭合。
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权利要求：
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