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一种柔性触觉传感阵列及其制备方法 

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申请/专利权人:嘉善复旦研究院

摘要:本发明提供了一种柔性触觉传感阵列及其制备方法,该柔性触觉传感阵列包括相对设置的第一阵列电极和第二阵列电极;设于所述第一阵列电极和所述第二阵列电极之间的阵列化离子介质层;所述阵列化离子介质层包括若干阵列设置的传感位点,所述传感位点靠近所述第一阵列电极的一侧面为平面结构,所述传感位点靠近所述第二阵列电极的一侧面为凸起的微结构。本发明提供的柔性触觉传感阵列及其制备方法具有高灵敏、低阵列串扰、高抗干扰性以及良好的稳定性,且制备方法重复性高,容易实现。

主权项:1.一种柔性触觉传感阵列,其特征在于,包括:相对设置的第一阵列电极和第二阵列电极;设于所述第一阵列电极和所述第二阵列电极之间的阵列化离子介质层;所述阵列化离子介质层包括若干阵列设置的传感位点,所述传感位点靠近所述第一阵列电极的一侧面为平面结构,所述传感位点靠近所述第二阵列电极的一侧面为凸起的微结构。

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权利要求:

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