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申请/专利权人：翼龙半导体设备(无锡)有限公司

摘要：本发明属于固晶机支架技术领域，尤其为一种固晶机支架，包括支撑架和呈矩形阵列设置在所述支撑架下方的自锁万向轮，还包括自上而下分别开设在所述支撑架内部的排气腔、进气腔和压力腔，通过改变所述支撑架内部气压的强弱来使支撑架高度发生变化，起到将固晶机支撑至需要高度的作用，并通过控制所述压力腔内部局部区域的气压的变化来对所述支撑架的表面水平度进行微调，从而使装置具有保持水平状态支撑的作用；本发明通过对气压气流的调节，实现了装置的高度调节功能以及水平调节功能，并且在此基础上，使气流具有对固晶机进行清洁和降温的功能。

主权项：1.一种固晶机支架，包括支撑架（101）和呈矩形阵列设置在所述支撑架（101）下方的自锁万向轮（102）；其特征在于：还包括自上而下分别开设在所述支撑架（101）内部的排气腔（201）、进气腔（202）和压力腔（203），通过改变所述支撑架（101）内部气压的强弱来使支撑架（101）高度发生变化，起到将固晶机支撑至需要高度的作用，并通过控制所述压力腔（203）内部局部区域的气压的变化来对所述支撑架（101）的表面水平度进行微调，从而使装置具有保持水平状态支撑的作用；所述支撑架（101）的底部呈环形阵列固定有套管一（204），所述套管一（204）通过所述支撑架（101）底面开设的贯通圆槽一与所述压力腔（203）内部相连通，所述进气腔（202）的内部分别安装有单向阀一（216）和单向阀二（217），所述单向阀二（217）的上方设置有堵块一（214），所述堵块一（214）通过所述进气腔（202）与所述支撑架（101）滑动连接，所述堵块一（214）的表面固定连接有堵块二（215），所述进气腔（202）的内部安装有电动推杆一（213），所述电动推杆一（213）输出轴的端部与所述堵块一（214）固定连接，所述套管一（204）的内部滑动连接有滑动杆（205），四个所述自锁万向轮（102）通过四个万向节分别安装在四个所述滑动杆（205）的底面，所述进气腔（202）的内部安装有气泵一（211），所述气泵一（211）的表面固定连接有密封块一（212），所述密封块一（212）与所述支撑架（101）固定连接，所述气泵一（211）的出风口朝向所述堵块一（214），所述压力腔（203）的内部设置局部气压调节机构。

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