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申请/专利权人：南方电网数字电网研究院股份有限公司
摘要：本申请涉及一种电容式湿度传感器及湿度检测方法，涉及湿度传感器技术领域，电容式湿度传感器包括气体压缩腔；至少一个进气口和至少一个出气口，均分别与气体压缩腔连通；压电片位于气体压缩腔内部，且覆盖进气口；用于控制进气口的通气状态；电磁阀位于出气口和气体压缩腔之间；用于控制出气口的通气状态；湿度电容模组位于气体压缩腔内、且背离进气口的一侧；用于检测气体压缩腔内的气体的湿度；其中，气体压缩腔内靠近进气口一侧的内径、大于气体压缩腔内靠近湿度电容模组一侧的内径。通过控制湿度传感器主动吸收待测气体到气体压缩腔，并集中和压缩气体，以提高待测气体分子在湿度电容模组中的吸附率，进而提高湿度传感器的灵敏度和测量精度。
主权项：1.一种电容式湿度传感器，其特征在于，包括：气体压缩腔；至少一个进气口和至少一个出气口，均分别与所述气体压缩腔连通；压电片，位于所述气体压缩腔内部，且覆盖所述进气口；用于控制所述进气口的通气状态；还用于控制气体经所述进气口泵入到所述气体压缩腔的速率、具体位置和方向；所述压电片与所述进气口一一对应设置；所述压电片周期性形变，以用于周期性控制对应的所述进气口的通气状态；电磁阀，位于所述出气口和所述气体压缩腔之间；用于控制所述出气口的通气状态；湿度电容模组，位于所述气体压缩腔内、且背离所述进气口的一侧；用于检测所述气体压缩腔内的气体的湿度；其中，沿所述进气口指向所述湿度电容模组的方向上，所述气体压缩腔的内径逐渐减小；所述湿度电容模组中包括至少两个并联连接的湿敏电容；所述湿敏电容包括第一电极、第二电极、以及位于所述第一电极和所述第二电极之间的湿敏材料；其中，所述湿敏材料与所述气体压缩腔中的所述气体接触；所述湿敏材料包括多孔状湿敏材料；所述湿度电容模组位于所述气体压缩腔中驻波的波峰位置；所述进气口、与所述进气口对应设置的所述压电片、以及所述气体压缩腔，这三个结构构成了压电泵；通过电压信号控制调节所述压电泵的频率和相位，在所述气体压缩腔中设置所述湿度电容模组的位置形成气体的声学驻波。
全文数据：
权利要求：
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