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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：一种用于从隔膜移除粒子的隔膜清洁设备，包括：隔膜支撑件；以及电场生成机构。所述隔膜支撑件用于支撑所述隔膜。所述电场生成机构用于当所述隔膜由所述隔膜支撑件支撑时在所述隔膜附近生成电场。所述电场生成机构可以包括：一个或更多个集电极；和用于跨越由所述隔膜支撑件支撑的所述隔膜和所述一个或更多个集电极中的一个或每个集电极施加电压的机构。
主权项：1.一种用于从隔膜移除粒子的隔膜清洁设备，所述设备包括：隔膜支撑件，用于支撑隔膜；和电场生成机构，用于当所述隔膜由所述隔膜支撑件支撑时在所述隔膜附近生成电场，其中，所述电场被配置成在所述隔膜由所述隔膜支撑件支撑时在所述隔膜中引起机械振荡或变形。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 隔膜清洁设备
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