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申请/专利权人：康宁股份有限公司
摘要：本文中揭示的系统及方法利用波束形成系统，该波束形成系统被配置成用于将高斯激光束转换成具有相对较大焦点深度的环形涡旋激光束，其使得能够处理厚或堆叠式的基于玻璃的物体。该环形激光束部分地由拓扑电荷m限定，该拓扑电荷m限定当该环形涡旋波束传播时该环形涡旋波束围绕该环形涡旋波束的中心轴线的旋转量。该环形涡旋波束用于使用单步或两步方法在基于玻璃的物体中形成微孔。通过任一工艺形成的这些微孔可视应用而呈凹部或贯穿孔洞的形式。这些微孔的大小可通过控制该环形涡旋波束在该焦点深度范围中的大小来控制。
主权项：1.一种在具有限定对置的第一及第二表面的主体的基于玻璃的物体中形成微孔的方法，该方法包含以下步骤：a形成具有相位分布的相位装置，该相位分布由下式限定：φPDr,θ＝φ1r,θ+φ2r,θ，其中φ1r,θ是等于-k·r·sinγ的第一相位项且φ2r,θ是等于m·θ的第二相位项，其中r,θ是极坐标，r是极径，且θ是极角，γ是在0.10°≤γ≤20°范围内的轴锥角，m是在3≤m≤20范围内的拓扑电荷，其中m是整数，且k是真空中的波向量；b将高斯激光束引导至该相位装置以将该高斯激光束转换成环形涡旋波束，该环形涡旋波束具有该相位分布φPDr,θ、焦点深度DOF、波长λ及聚焦环，该聚焦环在该焦点深度DOF内且具有内径D1、外径D2及宽度WA＝D2-D12；c将该环形涡旋波束引导至该第一表面且穿过该基于玻璃的物体的该主体，藉此照射在该焦点深度内的该主体的环形区域以形成一经照射环形区域，其中该照射：i将该经照射环形区域变换成经修改环形区域，与该主体的尚未被该环形涡旋波束照射的部分相比，该经修改环形区域优先蚀刻；ii通过烧蚀该经照射环形区域的一部分而将该经照射环形区域的该部分变换成封闭式环形微孔；或iii通过烧蚀该经照射环形区域而将该经照射环形区域变换成微通孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 康宁股份有限公司 使用环形涡旋激光束在基于玻璃的物体中形成微孔的系统及方法
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