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申请/专利权人：南京航空航天大学;南京航空航天大学苏州研究院

摘要：本发明公开了一种基于倾斜白光扫描干涉的横向分辨率增强方法，包括：通过白光干涉仪对阶跃结构进行垂直扫描测量，获取多帧光强图像；基于多帧光强图像进行高度信息矩阵转化获得高度信息矩阵，将高度信息按照同样的图片位置坐标放置于矩阵中；分析高度信息矩阵，按照元素方差大小划分区域Ⅰ和区域Ⅱ；对载物平台进行倾斜控制，直至区域Ⅰ的元素总体方差达到阈值，记录此时的倾斜角度数据与高度信息矩阵；对载物平台进行连续倾斜控制，直至区域Ⅰ内的元素中低于理论计算公式高度的元素数量达到一定占比时，记录此时的倾斜角度数据与高度信息矩阵；建立两次倾斜角情况下的几何模型，利用两组倾斜角数据与高度信息矩阵，计算待测样件的目标横向尺寸。

主权项：1.一种基于倾斜白光扫描干涉的横向分辨率增强方法，其特征在于，包括：选取阶跃结构并放置在载物平台上，通过白光干涉仪对所述阶跃结构进行垂直扫描测量，获取多帧光强图像；基于所述多帧光强图像进行高度信息矩阵转化获得高度信息矩阵，将高度信息按照同样的图片位置坐标放置于矩阵中；分析所述高度信息矩阵，按照元素方差大小划分区域Ⅰ和区域Ⅱ；对所述载物平台进行倾斜控制，直至所述区域Ⅰ的元素总体方差达到阈值，记录此时的倾斜角度数据与所述高度信息矩阵；对所述载物平台进行连续倾斜控制，直至区域Ⅰ内的元素中低于理论计算公式高度的元素数量达到一定占比时，记录此时的倾斜角度数据与所述高度信息矩阵；建立两次倾斜角情况下的几何模型，利用两组倾斜角数据与所述高度信息矩阵，计算待测样件的目标横向尺寸；对所述载物平台进行连续倾斜控制，直至区域Ⅰ内的元素中低于理论计算公式高度的元素数量达到一定占比时，记录此时的倾斜角度数据与所述高度信息矩阵的方法为： 其中，|·|表示集合元素的个数，Rateθ是设定的比例阈值，εθ是大于零的常数，用于限定倾斜过程中测量点在可控的范围内变换，h是选取测量对象在水平状态下的测量高度，HⅠm,n′是倾斜过程中坐标m,n处的高度，θ1是记录的监测角度，θ是载物平台的倾斜角。

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