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一种基于激光干涉原理的气体检测用光声光谱仪 

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申请/专利权人:大连世有电力科技有限公司

摘要:本实用新型公开一种基于激光干涉原理的气体检测用光声光谱仪,悬臂梁作为声波感应元件,将声波振幅转化为自身的振幅,当悬臂梁振动且通过光纤耦合器输入稳定功率激光时,悬臂梁上反射膜的返回光和弱反射窗片处的返回光进入准直镜后会产生干涉,振幅的微弱变化会被同步且线性的转化为干涉光强度显著的变化。由于悬臂梁的振幅和气体浓度成正比,干涉光强度又与悬臂梁的振幅线性相关,因此通过检测从光纤耦合器输出的干涉光强度,即可计算出气体浓度值。本实用新型在光声池上未设置电子元件,采用光纤连接可以实现远距离信号传输,避免了光声池附近存在的电磁干扰对检测信号的影响,极大的提高了光声光谱仪检测灵敏度。

主权项:1.一种基于激光干涉原理的气体检测用光声光谱仪,有光声池(1),光声池(1)有内腔(2),与内腔(2)相通有进气阀(3)和出气阀(4),所述内腔(2)的一侧设有主窗片(5),内腔(2)另一侧有与主窗片(5)相对设置的出光片(6),在内腔(2)的中心部位设有连通孔(7),其特征在于:在连通孔(7)内有悬臂梁(8),悬臂梁(8)的一端固定在连通孔(7)的侧壁上,所述悬臂梁(8)的上表面镀有反射膜(9),反射膜(9)上方由下至上依次固定有弱反射窗片(10)、准直镜(11),所述准直镜(11)与三端光纤耦合器(12)的公共端口相接,三端光纤耦合器(12)的另两个端口分别对应与激光器(13)和光电探测器(14)相接。

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权利要求:

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