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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本发明属于ITO靶材领域，具体公开一种ITO平面靶及其烧结方法和烧结装置。本发明的烧结方法中，将ITO平面靶靶坯在适合其尺寸大小的密闭空间内进行烧结，该空间内温度和气体分布更加均匀，可提升靶材的密度和降低靶材的翘曲度。同时本发明的烧结方法在密闭结构内进行，杜绝了氧气流出，使得氧分压满足抑制靶材挥发的条件后，不需要再通入氧气，大大降低了在烧结过程中的氧气浪费，总体烧结过程所需的耗氧量极低。
主权项：1.一种ITO平面靶的烧结方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）将ITO平面靶靶坯置于烧结装置中进行脱脂；（2）在烧结装置中设置密封结构，使脱脂后的ITO平面靶靶坯处于密封结构中，所述密封结构包括氧分压测试探头和氧气注入通道；然后采用1-5℃min的升温速率升温至600~800℃并保温，在保温过程中通过氧气注入通道通入氧气，当氧分压值达到30%~90%时，停止通入氧气，并且结束该温度的保温；再升温至烧结温度进行烧结，烧结结束后降温至室温，得到ITO平面靶；所述密封结构通过如下方式设置：在烧结装置中的烧结承重板上设凹槽，在凹槽中撒上深度大于25mm的沙层，然后将密封罩嵌入烧结承重板的凹槽中，使密封罩在凹槽的沙层中的插入深度为20~30mm，使得脱脂后的ITO平面靶靶坯处于密闭空间内；所述密封罩包括至少两个连接口，其中一个连接口用来连接氧气注入通道，另一个连接口用来连接氧分压测试探头；所述氧气注入通道为螺旋状的气体注入管道，螺旋直径为30~100mm，螺旋圈数量为5~20个，注入管道口的直径为5~20mm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种ITO平面靶及其烧结方法和烧结装置
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