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申请/专利权人：泰州造福智能装备制造有限公司

摘要：本发明公开了一种束斑分布检测装置、方法及电子枪，束斑分布检测装置包括实验装置、光阑装置、固定调节装置以及处理装置，实验装置的前端与电子枪支撑组件连接，电子枪的阴极与实验装置的前端相对，实验装置内设有一实验腔体；光阑装置包括光阑、光阑连接杆以及驱动电机，光阑包括支撑环以及若干刀片组件，刀片组件设于支撑环上并调节光阑中孔的孔径，刀片组件为金属件并通过光阑连接杆内部的导线与处理装置连接；光阑连接杆的一端与支撑环固定且另一端与固定调节装置固定，固定调节装置调节光阑装置在实验腔体中的位置。本发明可连续、动态调节地测量束斑，以直接接收到电子形成电流的方式反映束斑的分布，大大提高实验效率。

主权项：1.一种束斑分布检测装置，用于电子枪，其特征在于，所述束斑分布检测装置包括一实验装置、一光阑装置、一固定调节装置以及一处理装置，所述实验装置的前端与电子枪支撑组件连接，所述电子枪的阴极与实验装置的前端相对，所述实验装置内设有一实验腔体；所述光阑装置包括光阑、光阑连接杆以及驱动电机，所述光阑包括支撑环以及若干刀片组件，所述刀片组件设于所述支撑环上并调节光阑中孔的孔径，所述驱动电机向刀片组件的移动提供动力，所述刀片组件为金属件并通过光阑连接杆内部的导线与所述处理装置连接，所述支撑环包括一前盖、一后盖、一底座以及一控制环，刀片组件中的刀片一侧设有定位销且另一侧设有拨动销，刀片组件利用定位销安装于所述底座上，所述控制环上设有拨动槽，所述驱动电机带动所述控制环转动时拨动槽带动拨动销移动，所述底座与所述控制环同轴设于前盖和后盖之间；所述光阑连接杆的一端与所述支撑环固定且另一端与所述固定调节装置固定，所述固定调节装置调节所述光阑装置在所述实验腔体中的位置；其中，所述固定调节装置包括第四真空法兰、波纹管、连接杆固定件以及三维滑台，所述第四真空法兰设于波纹管前端并与实验装置的后端的真空法兰连接，所述波纹管的后端连接所述连接杆固定件，所述连接杆固定件与所述三维滑台连接；所述三维滑台包括X方向滑台、Y方向滑台以及Z方向滑台，所述连接杆固定件安装于X方向滑台，X方向滑台安装于Y方向滑台，Y方向滑台安装于Z方向滑台，Z方向滑台通过Z方向调节手轮调节Z方向滑台在Z方向的位置，Y方向滑台通过Y方向调节手柄调节Y方向滑台在Y方向的位置，X方向滑台通过X方向调节手柄调节X方向滑台在X方向的位置，所述连接杆固定件上还设有Z方向微调手柄；所述处理装置用于利用固定调节装置调节光阑装置在测量面上的位置并采集光阑装置的电流信号，利用电流信号获取电子束的中心轴线在测量面上的位置点以及电子束在测量面上的直径，利用每一测量面的位置点和直径获取束斑分布数据。

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