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一种晶体生长炉的供料结构 

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申请/专利权人:宁波志方新材料有限公司

摘要:本实用新型涉及晶体生长炉技术领域,并公开了一种晶体生长炉的供料结构,包括炉体,所述炉体的内部设有坩埚,所述炉体上设有原料箱,所述炉体内部设有连接杆,所述连接杆的侧壁固定连接有若干下料杆,所述连接杆与下料杆的内部共同设有下料腔,所述下料杆底部设有若干通孔,所述通孔与下料腔相连通,所述原料箱内设有用于连通下料腔与原料箱内部的连通件,所述原料箱上设有用于驱动连接杆移动的移动组件。本实用新型提出的晶体生长炉的供料结构在工作时,原料在下落的过程中能够均匀分布在坩埚内,这有助于确保反应的均匀性和充分性,提高原料的反应效率。

主权项:1.一种晶体生长炉的供料结构,包括炉体1,所述炉体1的内部设有坩埚2,其特征在于,所述炉体1上设有原料箱3,所述炉体1内部设有连接杆5,所述连接杆5的侧壁固定连接有若干下料杆6,所述连接杆5与下料杆6的内部共同设有下料腔8,所述下料杆6底部设有若干通孔7,所述通孔7与下料腔8相连通,所述原料箱3内设有用于连通下料腔8与原料箱3内部的连通件,所述原料箱3上设有用于驱动连接杆5移动的移动组件。

全文数据:

权利要求:

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