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申请/专利权人：宁波志方新材料有限公司
摘要：本实用新型涉及晶体制备技术领域，并公开了一种晶体生长装置，包括安装座和装配在所述安装座上的制备炉，所述制备炉的内部设有支架，所述支架上设有坩埚，所述坩埚底部设有冷却盘，所述冷却盘的内部嵌设有第一水管和第二水管，所述第一水管和第二水管均呈螺旋状结构，且第一水管和第二水管呈交叉错位设置，所述安装座上设有水泵，所述水泵出水端连通设有进水管，所述进水管与第一水管位于冷却盘圆心位置的一端相连通。本实用新型能够减小冷却盘圆心位置和边缘位置的温差，确保冷却盘对坩埚底部的冷却效果一致，有助于晶体结构的一致性和均匀性，其次能够实现能量回收利用，节约制备成本。
主权项：1.一种晶体生长装置，包括安装座1和装配在所述安装座1上的制备炉2，其特征在于，所述制备炉2的内部设有支架3，所述支架3上设有坩埚4，所述坩埚4底部设有冷却盘5，所述冷却盘5的内部嵌设有第一水管6和第二水管8，所述第一水管6和第二水管8均呈螺旋状结构，且第一水管6和第二水管8呈交叉错位设置，所述安装座1上设有水泵14，所述水泵14出水端连通设有进水管10，所述进水管10与第一水管6位于冷却盘5圆心位置的一端相连通，所述进水管10还与第二水管8位于冷却盘5边缘位置的一端相连通，所述第一水管6另一端与第二水管8另一端均与出水管12相连通，所述冷却盘5上还设有气冷机构，所述安装座1上设有能量回收机构和用于驱动冷却盘5转动的转动机构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波志方新材料有限公司 一种晶体生长装置
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