龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：镓特半导体科技(铜陵)有限公司
摘要：本实用新型公开了用于生长GaN的HVPE设备排气装置，包括：反应腔（1）、取片腔（2）、连接反应腔和取片腔的法兰以及过滤器（3），所述法兰上连通有排气管（4），所述排气管的末端连通有上外管（5），所述上外管内同心设置有与排气管连通的上内管（6），所述上内管的末端露出在上外管的底部之外，所述上内管的末端外套接有下外管（7），所述下外管内同心设置有与上内管连通的下内管（8），所述下内管的末端露出在下外管的底部之外，所述下内管通过波纹管（9）与过滤器连通。本实用新型的有益效果是用外管套内管的方式，内管可以插入另一个管道的外管内，外管是起到密封作用，内管是防止金属镓直接接触连接部分，提高排气管的可靠性。
主权项：1.用于生长GaN的HVPE设备排气装置，包括：反应腔（1）、取片腔（2）、连接反应腔和取片腔的法兰（11）以及过滤器（3），其特征是：所述法兰上连通有排气管（4），所述排气管的末端连通有上外管（5），所述上外管内同心设置有与排气管连通的上内管（6），所述上内管的末端露出在上外管的底部之外，所述上内管的末端外套接有下外管（7），所述下外管内同心设置有与上内管连通的下内管（8），所述下内管的末端露出在下外管的底部之外，所述下内管通过波纹管（9）与过滤器连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 镓特半导体科技(铜陵)有限公司 用于生长GaN的HVPE设备排气装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号