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申请/专利权人：华厦半导体(深圳)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种HVPE用喷头，包括连接管，所述连接管的底端侧边处固定连接有喇叭状喷头部，所述喇叭状喷头部的底部侧边处固定连接有圆状喷头部，所述连接管的进料端内壁固定连接有固定板，所述固定板的顶面设置有调节机构；本实用新型对喷头结构进行改变改善了前驱物在衬底上的径向分布不均匀性及赘生物，最终实现III族氮化物高效率、高质量地沉积，且成本较低，在调节机构的作用下通过对拨板的拨动即可实现对贯通孔相对尺寸的调节，使得连接管当中的气流流速可得到精准的调节，且气流在连接管当中更加的均匀，增加了装置的实用性。
主权项：1.一种HVPE用喷头，包括连接管1，其特征在于，所述连接管1的底端侧边处固定连接有喇叭状喷头部2，所述喇叭状喷头部2的底部侧边处固定连接有圆状喷头部3，所述连接管1的进料端内壁固定连接有固定板4，所述固定板4的顶面设置有调节机构5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华厦半导体(深圳)有限公司 一种HVPE用喷头
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