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申请/专利权人：聚勒微电子科技(太仓)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种HVPE法生长氮化镓单晶的炉体结构，涉及氮化镓单晶的炉体领域，包括结构本体，所述结构本体顶部的正中安装有密封盖，所述密封盖的顶部固定连接有排气管，所述结构本体的正面转动连接有隔离门，所述结构本体背面的顶部固定连接有加热器，所述结构本体的内腔中活动连接有升降装置，驱动组件的正面转动连接有转动轴，所述驱动组件左右两侧的正中对称固定连接有活动块。本实用新型所述的一种HVPE法生长氮化镓单晶的炉体结构，此结构安全可靠，在进行工作时，可以对内部材料的状态进行观察，同时方便根据需求对材料的加热位置进行调节，同时方便对材料进行混合处理，能有效提高工作效率。
主权项：1.一种HVPE法生长氮化镓单晶的炉体结构，包括结构本体（1），其特征在于：所述结构本体（1）顶部的正中安装有密封盖（2），所述密封盖（2）的顶部固定连接有排气管（3），所述结构本体（1）的正面转动连接有隔离门（5），所述结构本体（1）背面的顶部固定连接有加热器（8）；所述结构本体（1）的内腔中活动连接有升降装置（11），驱动组件（14）的正面转动连接有转动轴（15），所述驱动组件（14）左右两侧的正中对称固定连接有活动块（12）；所述排气管（3）外壁的正中法兰连接有密封阀（4），所述隔离门（5）的背面固定连接有密封圈，所述隔离门（5）正面的左侧固定连接有把手（6），所述隔离门（5）正面的右侧固定连接有控制器（7）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 聚勒微电子科技(太仓)有限公司 一种HVPE法生长氮化镓单晶的炉体结构
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