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申请/专利权人：镓特半导体科技(铜陵)有限公司
摘要：本实用新型公开了用于卧式HVPE的氮化镓反应器,包括：反应室（1），所述反应室内再垂直方向分隔成多个反应层（2），多个反应层开设有交错分布的垂直通道（3），位于最下层的反应层与反应室的底部之间形成充分反应层（4）；进口管道（5），所述进口管道开设在位于最上层的反应层的一侧；出气管（6），所述出气管与充分反应层远离进口管道的侧面连通。本实用新型的有益效果是将多个反应层组合起来，充分反应层和气体缓冲室用于对生成的氯化镓气体进行缓冲和稳流，且气体缓冲室可以对生成的氯化镓气体中夹带的金属镓颗粒进行蓄留和拦阻，避免这些颗粒落在生长衬底上造成衬底污染，从而避免生成的晶圆片缺陷密度较大或破裂。
主权项：1.用于卧式HVPE的氮化镓反应器,其特征是：包括：反应室（1），所述反应室内再垂直方向分隔成多个反应层（2），多个反应层开设有交错分布的垂直通道（3），位于最下层的反应层与反应室的底部之间形成充分反应层（4）；进口管道（5），所述进口管道开设在位于最上层的反应层的一侧；出气管（6），所述出气管与充分反应层远离进口管道的侧面连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 镓特半导体科技(铜陵)有限公司 用于卧式HVPE的氮化镓反应器
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