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申请/专利权人：苏州纳维科技有限公司
摘要：本发明公开了一种并联HVPE过滤装置。该并联HVPE过滤装置包括：至少两个过滤单元与至少两个连接管路，至少两个过滤单元包括第一过滤单元与第二过滤单元，第一过滤单元包括第一容器和第一过滤机构，第一容器具有第一腔室，第一过滤机构设置在第一腔室内，第一容器上设置有进气口和第一出气口；第二过滤单元包括第二容器和第二过滤机构，第二容器具有第二腔室，第二过滤机构设置在第二腔室内；至少两个连接管路包括第一连接管路和第二连接管路，第一连接管路、第二连接管路均分别与第一腔室、第二腔室相连通，第二连接管路上设置有总出气口。本发明可以实现含镓氯化铵以及氯化铵的自行分级收集，可以更好的将含镓氯化铵气体冷却固化。
主权项：1.一种并联HVPE过滤装置，其特征在于，包括：至少两个过滤单元，所述至少两个过滤单元包括第一过滤单元与第二过滤单元，所述第一过滤单元包括第一容器和第一过滤机构，所述第一容器的内部具有第一腔室，所述第一过滤机构设置在所述第一腔室内，所述第一容器上设置有与所述第一腔室连通的进气口；所述第二过滤单元包括第二容器和第二过滤机构，所述第二容器的内部具有第二腔室，所述第二过滤机构设置在所述第二腔室内；至少两个连接管路，所述至少两个连接管路包括第一连接管路与第二连接管路，所述第一连接管路分别与所述第一腔室、所述第二腔室相连通，所述第二连接管路分别与所述第一腔室、所述第二腔室相连通，并且，所述第二连接管路上设置有总出气口，所述第一连接管路和所述第二连接管路沿重力方向间隔设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州纳维科技有限公司 并联HVPE过滤装置
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