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申请/专利权人：苏州博胜材料科技有限公司

摘要：本发明涉及氮化硅材料制备技术领域，具体为一种高导热氮化硅基板及其制备方法。本发明采用纳米碳粉、纳米二氧化硅、纳米氧化镁和纳米氧化钇作为原料，并与溶剂、超分散剂进行球磨，得到悬浮液，向悬浮液中加入黏结剂和塑性剂，进行二次球磨，得到浆料；接着，通过流延成型工艺制得薄板生坯，然后在氮气氛围中进行排胶，最后采用气压烧结工艺，制得氮化硅基板。本发明制备的氮化硅基板具有高导热性能，同时具有优异的力学性能。

主权项：1.一种高导热氮化硅基板的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤S1：将纳米碳粉、纳米二氧化硅、纳米氧化镁和纳米氧化钇放入球磨机中，加入溶剂和超分散剂，进行球磨，得到悬浮液；向悬浮液中加入黏结剂和塑性剂，进行二次球磨，得到浆料；步骤S2：将浆料进行流延成型，得到薄板生坯，烘干后，置于氮气中进行排胶，得到排胶后的薄板生坯；步骤S3：将排胶后的薄板生坯在氮气中进行气压烧结，得到氮化硅基板；所述步骤S1中，纳米碳粉、纳米二氧化硅、纳米氧化镁和纳米氧化钇的质量比为1：（0.3-0.5）：（0.2-0.4）：（0.2-0.4）；所述步骤S1中，纳米二氧化硅经过改性处理，具体改性工艺如下：将纳米二氧化硅和无水乙醇、去离子水混合均匀，调节体系pH=10-12，加入全氟辛基三乙氧基硅烷，在50-65℃下反应4-6h，经过滤、洗涤、干燥后，得到改性纳米二氧化硅；所述步骤S1中，超分散剂的制备方法如下：步骤（1）：将聚偏氟乙烯-六氟丙烯树脂和N,N-二甲基甲酰胺混合均匀，加入过氧化氢水溶液，再加入氢氧化钾水溶液，在10-20℃下反应4-6h，调节体系pH=2-3，经过滤、洗涤、干燥后，得到端羧基含氟化合物；将硼氢化钠和四氢呋喃混合均匀，在冰浴条件下，滴加端羧基含氟化合物和四氢呋喃的混合溶液，1-2h滴完，反应1-2h，继续滴加硫酸和乙醚的混合溶液，30-50min滴完，反应10-12h，升温至80-90℃，回流反应2-4h，经淬灭、旋蒸、洗涤、干燥后，得到端羟基含氟化合物；步骤（2）：将端羟基含氟化合物和四氢呋喃混合均匀，加入苯磺酰氯和三乙胺，在冰浴条件下反应5-7h，转移至庚烷中混合均匀，经抽滤、旋蒸、洗涤、干燥后，得到中间体；步骤（3）：将中间体和N,N-二甲基-1,3-二氨基丙烷、四氢呋喃混合均匀，在20-30℃下反应22-24h，经旋蒸、洗涤、干燥后，得到超分散剂；所述步骤（1）中，聚偏氟乙烯-六氟丙烯树脂、N,N-二甲基甲酰胺、过氧化氢水溶液和氢氧化钾水溶液的质量比为1：（2-4）：（0.6-0.8）：（0.58-0.62）；所述步骤（1）中，过氧化氢水溶液的浓度为30wt%，氢氧化钾水溶液的浓度为45wt%；所述步骤（1）中，端羧基含氟化合物和四氢呋喃的质量比为1：（4-5），硼氢化钠和四氢呋喃的质量比为1：（9-10），硫酸和乙醚的质量比为1：（3-5）；所述步骤（1）中，端羧基含氟化合物、硼氢化钠和硫酸的质量比为1：（0.08-0.10）：（0.15-0.20）；所述步骤（1）中，硫酸的浓度为37wt%；所述步骤（2）中，端羟基含氟化合物和四氢呋喃的质量比为1：（4-5），苯磺酰氯的质量为端羟基含氟化合物的质量0.12-0.15倍，三乙胺的质量为端羟基含氟化合物质量的3-5%；所述步骤（3）中，中间体和N,N-二甲基-1,3-二氨基丙烷、四氢呋喃的质量比为1：（0.07-0.10）：（4-5）；所述步骤S1中，超分散剂的用量为纳米碳粉、纳米二氧化硅、纳米氧化镁和纳米氧化钇总质量的0.5-2.5%。

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