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申请/专利权人：郑州合晶硅材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种抛光设备用冲洗装置，包括承漏机构；所述承漏机构包括承漏盘，所述承漏盘上设有供所述冲洗槽穿过的通孔；所述喷嘴位于所述冲洗槽内部；所述冲洗槽的上部设有环形的安装台，所述安装台的外径大于所述通孔，用于将所述冲洗槽支撑固定于所述承漏盘上；所述安装台上设有定位块，所述定位块用于对晶片进行定位。本申请可以将在冲洗过程中从冲洗槽中溢流出的水、手臂取陶瓷盘及晶片并翻面时滴落的水被承漏盘承接住并及时排走，避免了因水而产生的产品品质异常及设备故障，因此对后续的晶片加工的稳定性和晶片的品质有很大的提升效果。
主权项：1.一种抛光设备用冲洗装置，包括冲洗机构，所述冲洗机构包括冲洗槽、喷嘴和进排水管路；其特征在于，所述冲洗装置还包括承漏机构；所述承漏机构包括承漏盘，所述承漏盘上设有供所述冲洗槽穿过的通孔；所述喷嘴位于所述冲洗槽内部；所述冲洗槽的上部设有环形的安装台，所述安装台的外径大于所述通孔，用于将所述冲洗槽支撑固定于所述承漏盘上；所述安装台上设有定位块，所述定位块用于对晶片进行定位。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 郑州合晶硅材料有限公司 一种抛光设备用冲洗装置
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