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申请/专利权人：常州捷佳创精密机械有限公司
摘要：本实用新型提供一种涂布平台及应用其的涂布机，其中涂布平台包括基座；吸附平台，设于基座顶部，吸附平台设有用于吸附基片的吸附平面，以使基片保持水平；涂布装置，对基片进行涂布；满涂结构，作为涂布装置对基片进行涂布作业的起点或终点；驱动装置，上料时驱动满涂结构远离吸附平台运动，涂布时驱动满涂结构靠近吸附平台运动。本实用新型提供的涂布平台，在对硅片正式涂布前在满涂结构预涂布，以提前确定涂布液是否满足形成稳定液桥的涂布需求，保证后续正式涂布时硅片形成钙钛矿液膜涂布的覆盖率；满涂结构设置风刀避免涂布过程涂布液顺着硅片边缘流至硅片背面；通过定位装置实现硅片定位于吸附平台；吸附平台周侧设置回流槽实现涂布液回收。
主权项：1.一种涂布平台，其特征在于，包括：基座；吸附平台，设于所述基座顶部，所述吸附平台设有用于吸附基片的吸附平面，以使所述基片保持水平；涂布装置，对基片进行涂布；满涂结构，作为涂布装置对所述基片进行涂布作业的起点或终点，以保证所述基片实现满涂；驱动装置，上料时驱动满涂结构远离所述吸附平台运动，涂布时驱动所述满涂结构靠近吸附平台运动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常州捷佳创精密机械有限公司 一种涂布平台及应用其的涂布机
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